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離子束濺射系統(tǒng)

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深圳臥式磁控濺射系統(tǒng)

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臥式磁控濺射系統(tǒng)

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◆設(shè)備用途

用于納米級(jí)單層及多層功能膜、硬質(zhì)膜、金屬膜、半導(dǎo)體膜、介質(zhì)膜等新型薄膜材料的制備??蓮V泛應(yīng)用于大專(zhuān)院校、科研院所的薄膜材料的科研與小批量制備。

◆設(shè)備組成

系統(tǒng)主要由濺射真空室、永磁磁控濺射靶(三個(gè)靶)、單基片加熱臺(tái)、直流電源、射頻電源、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、真空測(cè)量、電控系統(tǒng)及安裝機(jī)臺(tái)等部分組成。

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