您好，歡迎光臨沈陽宇杰真空設(shè)備有限公司！
集真空儀器裝置研發(fā)、生產(chǎn)、銷售
服務(wù)為一體的高科技企業(yè)
全國服務(wù)熱線
13555776988
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沈陽宇杰真空設(shè)備有限公司
電話：13555776988
網(wǎng)址：m.bjyhcx.cn
淘寶店鋪：https://shop311771663.taobao.com
地址：遼寧省沈陽市沈河區(qū)泉園街道
◆設(shè)備用途
該系統(tǒng)為高真空多功能離子束沉積系統(tǒng)， 系統(tǒng)可用于開發(fā)納米級的單層及多層功能膜和復(fù)合膜-可鍍金屬、 合金、 化合物、 半導(dǎo)體、 介質(zhì)復(fù)合膜等。 廣泛應(yīng)用于大專院校、 科研院所進行薄膜材料的科研與小批量制備。
◆設(shè)備組成
系統(tǒng)主要由濺射真空室、磁控濺射靶、基片臺（客戶自備）、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、安裝機臺、真空測量及電控系統(tǒng)等部分組成；
◆技術(shù)指標
1、極限真空度：≤5.0x10-5 Pa (經(jīng)烘烤除氣后)；
2、系統(tǒng)真空檢漏漏率：≤5.0x10-7 Pa.l/S；
3、系統(tǒng)短時間暴露大氣并充干燥氮氣后，再開始抽氣，40分鐘可達到6.0x10-4 Pa；
4、停泵關(guān)機12小時后真空度：≤2 Pa。
公司地址：遼寧省沈陽市沈河區(qū)泉園街道 聯(lián)系電話：13555776988
