哈爾濱工業(yè)大學(xué)

采購時(shí)間：2018年10月12日

設(shè)備名稱：DZS-500S雙室電子束與蒸發(fā)聯(lián)合系統(tǒng)

技術(shù)指標(biāo)：

一、電子束系統(tǒng)的主要組成及技術(shù)指標(biāo)

1、極限真空度：≤8.0×10-5Pa (經(jīng)烘烤除氣后)；

2、系統(tǒng)真空檢漏漏率：≤5.0×10-8Pa.L/S；停機(jī)12小時(shí)≤5Pa.

3、系統(tǒng)短時(shí)間暴露大氣并充干燥氮?dú)夂?，再開始抽氣，45分鐘可達(dá)到6.6×10-4Pa；

4、系統(tǒng)主要由蒸發(fā)真空室、E型電子槍、熱蒸發(fā)電極、旋轉(zhuǎn)基片加熱臺(tái)、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、真空測量、安裝機(jī)臺(tái)及電控系統(tǒng)等部分組成；

1、真空室組件：1套

真空室為U型箱體活開門結(jié)構(gòu)，尺寸為500mm×500mm×600mm，四壁水道冷卻，壁掛防污板，選用優(yōu)質(zhì)不銹鋼材料制造，氬弧焊接，表面進(jìn)行特殊工藝拋光電解處理，接口采用金屬無氧銅墊圈密封或氟橡膠圈密封；

真空室組件上焊有各種規(guī)格的法蘭接口如下：

1.1、RF200法蘭接口：1個(gè)（接旋轉(zhuǎn)基片加熱臺(tái)組件）；

1.2、RF100法蘭接口：1個(gè)（觀察窗口）；

1.3、CF16法蘭接口：1個(gè)（進(jìn)氣接口）；

1.4、CF200法蘭接口：1個(gè)（接分子泵）；

1.5、CF35法蘭接口：5個(gè)(接電離規(guī)管、膜厚儀、旁抽角閥、2個(gè)備用)；

1.6、CF16法蘭接口：8個(gè)（進(jìn)氣接口、烘烤照明、充氣閥、蒸發(fā)電極擋板直接轉(zhuǎn)軸）；

1.7、ZC16法蘭接口：1個(gè)(接低真空規(guī)管)；

2、旋轉(zhuǎn)基片加熱臺(tái)：1套 

2.1、基片尺寸：可放置5″基片；

2.2、基片加熱最高溫度600°C±1°C，由熱電偶閉環(huán)反饋控制；

2.3、基片可連續(xù)回轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速5～60轉(zhuǎn)/分，電機(jī)驅(qū)動(dòng)磁耦合機(jī)構(gòu)控制；

2.4、手動(dòng)控制樣品擋板組件：1套；

2.5、樣品托：2個(gè)；                                        

3、電子槍及電源：1套 

3.1、270°E型電子槍及高壓電源，電子槍功率0—8 KW可調(diào)（成都興南）；

3.2、電子槍陽極電壓：6kv、8kv；

3.3、電子束可二維掃描調(diào)節(jié)，最大掃描正負(fù)15mm（X，Y），備有遙控盒，可手持遙控操作掃描；

3.4、水冷式坩堝：六穴坩堝，每個(gè)容量約為11ml，電動(dòng)切換；單穴尺寸：Φ30mm ×Φ22mm ×22mm（圓臺(tái)型）；

3.5、可控制坩堝位置變化；

3.6、由手動(dòng)驅(qū)動(dòng)坩堝擋板；  

3.7、具有高壓滅弧自動(dòng)復(fù)位功能； 

4、石英晶體振蕩膜厚監(jiān)控儀（上海泰堯）：1套 

4.1、監(jiān)測膜厚顯示范圍：0~99μ9999?；

4.2、厚度分辨率：1?；

4.3、速率顯示分辨率：0~9999.9 ?；

4.4、控制精度：1 ?；

4.5、監(jiān)測時(shí)間顯示范圍：1分~99小時(shí)；

5、工作氣路：2路

5.1、200SCCM質(zhì)量流量控制器、充氣閥CF16、管路、接頭等：1路（北京）

5.2、管路、接頭等：1路；

5.3、充氣閥D6、管路、接頭等：1路（充入氮?dú)饣虼髿猓?/span>

6、抽氣機(jī)組及閥門、管道：1套

6.1、復(fù)合分子泵及變頻控制電源：1臺(tái)（抽速1200升/秒，北京KYKY）；    

6.2、直聯(lián)機(jī)械泵：1臺(tái)（抽速8升/秒，飛越）； 

6.3、KF40電磁壓差閥：1臺(tái)（上海）；

6.4、分子泵與機(jī)械泵軟聯(lián)接金屬軟管：1套 ；

6.5、機(jī)械泵與真空室之間的旁抽管路、KF40電磁隔斷閥及角閥CF35：1套 ；

6.6、CF200-B閘板閥：1臺(tái)（用于分子泵與真空室隔離）；

7、窗口及法蘭接口部件：1套

7.1、RF100磁力旋轉(zhuǎn)觀察窗擋板：1個(gè)；

7.2、CF16陶瓷封接兩芯引線法蘭：2個(gè)（照明及內(nèi)烘烤引線、備用引線）；

7.3、盲法蘭CF16：2個(gè)；CF35：2個(gè)；

7.4、CF16單芯陶瓷封接引線法蘭：1個(gè)（高壓放電電極）；

8、安裝機(jī)臺(tái)架組件：1套

優(yōu)質(zhì)方鋼鋁型材，機(jī)臺(tái)表面用不銹鋼蒙皮裝飾，四只腳輪，可固定，可移動(dòng)；

9、真空測量及電控系統(tǒng)：1套

9.1、電源機(jī)柜：1臺(tái)（含供電電源，有斷電保護(hù)功能）；

9.2、控制電源：1臺(tái)（為機(jī)械泵、電磁閥等提供電源）；

9.3、樣品加熱控溫電源：1套（可實(shí)現(xiàn)程序控溫）；

9.4、電機(jī)控制電源：1套；

9.5、加熱烘烤及照明電源：1套；

9.6、電阻蒸發(fā)電源：1套；

9.7、寬量程數(shù)顯真空計(jì)ZDF-5227（成都）：1套；測量范圍：（1.0x10 5Pa～1.0x10-5Pa）； 

9.8、E型電子槍電源：1套：(成都)

9.9、200SCCM質(zhì)量流量顯示器：1套；

9.10、分子泵控制電源：1套；

10、備件：1套

10.1、無氧銅密封墊圈及管路

CF16:3個(gè)；CF35:2個(gè)； CF200:2個(gè)；￠6mm卡套:4套； 

10.2、氟橡膠圈：￠200mm：1個(gè)；￠100mm：4個(gè)；

10.3、石英晶震片：10個(gè)；

10.4、碘鎢燈：2個(gè)；

10.5、樣品加熱絲：1套；

10.6、￠100mm鉛玻璃：1塊；

10.7、電子槍燈絲：10個(gè)；

10.8、熱蒸發(fā)坩鍋：2個(gè)；

10.9、不銹鋼標(biāo)件：M3、M4各3個(gè)；

10.10、電器相關(guān)的保險(xiǎn)絲：各5個(gè)。

二、熱蒸發(fā)系統(tǒng)的主要組成及技術(shù)指標(biāo)

該系統(tǒng)為單室圓形上翻蓋結(jié)構(gòu)三源無機(jī)熱蒸發(fā)系統(tǒng)，主要用來生長金屬薄膜的研究工作，具體如下：

1.1系統(tǒng)采用單室圓形上翻蓋結(jié)構(gòu)。

1.2樣品尺寸：直徑120mm，樣品托；

1.3生長室放置3個(gè)熱阻蒸發(fā)舟，配備蒸發(fā)電源1套，蒸發(fā)電源帶轉(zhuǎn)接功能。

1.4真空室組件及配備零部件全部采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼材料制造，氬弧焊接，表面處理采用國內(nèi)最先進(jìn)電化學(xué)拋光鈍化處理工藝。

2、系統(tǒng)的主要組成及技術(shù)性能

2.1、真空室腔體組件：1套

真空室腔體組件尺寸：圓型立式真空室，尺寸約為Φ350×H475，真空室設(shè)計(jì)采用高真空設(shè)計(jì)，壁掛防污板，選用優(yōu)質(zhì)不銹鋼材料制造，氬弧焊接，表面處理采用噴玻璃丸+化學(xué)電解拋光鈍化處理新工藝。

左側(cè)開CF150刀口，放置CF150閘板閥與電子束室相連，前面配有觀察窗，后面配有照明燈，右側(cè)留CF35口放置磁力傳遞桿，實(shí)現(xiàn)兩室相互交接。

真空室組件上焊有各種規(guī)格的法蘭接口如下：

2.1.1、真空室上封頭法蘭接口：1個(gè)（接樣品組件）；

2.1.2、CF150法蘭接口：1個(gè)（分子泵接口，兩室共用一個(gè)分子泵）；

2.1.3、CF35法蘭接口：6個(gè)（接高真空電離規(guī)管、膜厚儀、旁抽、烘烤照明等）；

2.1.4、CF16法蘭接口：2個(gè)（充氣管路、放氣管路）；

2.1.5、KF16法蘭接口：1個(gè)（接低真空電阻規(guī)管）；

2.1.6、門板有1個(gè)RF100帶玻璃擋板觀察窗。

2.1.7、熱阻蒸發(fā)電極接口： 3套，無機(jī)水冷電極；

2.1.8、蒸發(fā)源擋板接口：2個(gè)，手動(dòng)；

3.1、電阻蒸發(fā)源：1套 

3.1.1、蒸發(fā)水冷電極3根，組成2組蒸發(fā)舟，蒸發(fā)控制電源兩套，其中一套可相互切換，蒸發(fā)電源電壓5-10V，電流300A，最大輸出功率3Kw；

3.1.2、蒸發(fā)源手動(dòng)控制擋板：2套； 

4.1、樣品臺(tái)：1套

4.1.1 基片尺寸：120mm基片托，。

5.1、清洗離子源：1套

5.11、清洗樣品離子源：

6.1、真空本底抽氣與真空測量：1套

6.1.1、放氣閥及充氣閥： 2只 （沈陽） 用于真空室解除及真空充氣使用。

6.1.2、其它閥門：CF35旁抽角閥 1個(gè)（沈陽） DN40電磁截止閥（川北）1個(gè)

7.1、真空室照明裝置：1套

8.1、真空室預(yù)留檢漏口和預(yù)留備用口若干：1套