深圳大學(xué)

采購時間：2018年6月22日

設(shè)備名稱：YJ-ZF350A高真空單室熱蒸發(fā)系統(tǒng)

技術(shù)指標(biāo)：

．系統(tǒng)概況

該系統(tǒng)為單室圓形上翻蓋結(jié)構(gòu)三源無機熱蒸發(fā)系統(tǒng)，主要用來生長金屬薄膜的研究工作，具體如下：

1、系統(tǒng)采用單室圓形上翻蓋結(jié)構(gòu)。

2、樣品片臺可旋轉(zhuǎn)，0～30轉(zhuǎn)／分 連續(xù)可調(diào)。

3、樣品尺寸：直徑100mm，樣品托；

4、生長室預(yù)留2個可配備石英晶振探頭安裝口；

5、生長室放置3個熱阻蒸發(fā)舟，配備蒸發(fā)電源2套，蒸發(fā)電源帶轉(zhuǎn)接功能即一個蒸發(fā)電源可以通過轉(zhuǎn)接控制兩個熱阻蒸發(fā)舟，可實現(xiàn)兩源共蒸。

6、生長室真空獲得系統(tǒng)采用國產(chǎn)分子泵（600L/S）+機械泵（TRP-36 8L/S）進(jìn)行抽氣；配有旁抽管路，提高單機效率。

7、真空室組件及配備零部件全部采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼材料制造，氬弧焊接，表面處理采用國內(nèi)最先進(jìn)電化學(xué)拋光鈍化處理工藝。

二、系統(tǒng)的主要組成及技術(shù)性能

生長室極限真空度≤8×10-5 Pa；抽速：40分鐘可達(dá)到8×10-4 Pa

1、真空室腔體組件：1套

真空室腔體組件尺寸：圓型立式真空室，尺寸約為Φ350×H475，D型前開門結(jié)構(gòu)，真空室設(shè)計采用高真空設(shè)計，壁掛防污板，選用優(yōu)質(zhì)不銹鋼材料制造，氬弧焊接，表面處理采用噴玻璃丸+化學(xué)電解拋光鈍化處理新工藝。

真空室組件上焊有各種規(guī)格的法蘭接口如下：

1、真空室上封頭法蘭接口：1個（接樣品組件）；

2、CF150法蘭接口：1個（分子泵接口）；

3、CF35法蘭接口：6個（接高真空電離規(guī)管、膜厚儀、旁抽、烘烤照明等）；

4、CF16法蘭接口：4個（進(jìn)氣管路、充氣閥、1個備用）；

5、KF16法蘭接口：1個(接低真空電阻規(guī)管)；

6、KF40法蘭接口：1個(接旁抽管路)；

7、門板有1個RF100帶玻璃擋板觀察窗。

8、熱阻蒸發(fā)電極接口： 3套無機水冷電極；

9.蒸發(fā)源擋板接口:3個手動；

2、熱阻蒸發(fā)舟及電源：2套

熱阻蒸發(fā)電源2臺(功率3.5kw)，手動切換滿足3支蒸發(fā)舟蒸發(fā)要求；

熱阻蒸發(fā)器根據(jù)蒸發(fā)材料配套（鎢舟、鉭舟、鉬舟）；

蒸發(fā)源擋板：3套手動控制。

3、樣品臺：1套

3.1 基片尺寸：100mm基片托，蒸發(fā)距離220mm-300mm可調(diào)

4、真空本底抽氣與真空測量：-1套

4.1、復(fù)合分子泵：FF-600分子泵（北京）1套

4.2、機械泵與電磁閥： 抽速8升∕秒（飛越） 1套

4.3、分子泵與機械泵連接的金屬軟管：（沈陽） 1套

4.4、復(fù)合數(shù)顯真空測量規(guī)與計(睿寶ZDF-5227)： 1套

熱偶規(guī)：（KF16快卸法蘭） 1.0x103Pa ---1.0x10-1Pa    1只

電離規(guī)：（CF35刀口法蘭） 1.0x10-1Pa ---1.0x10-5Pa    1只

4.5、放氣閥及充氣閥： 2只 （沈陽） 用于真空室解除及真空充氣使用

4.6、CF150手動插板閥：（北京川北）用于隔斷分子泵與生長室

4.7、其它閥門：CF35旁抽角閥 1個（沈陽） DN40電磁截止閥（帕納）1個

5、電控與電源：1套

5.1、總控電源及樣品轉(zhuǎn)動電源：，0～30轉(zhuǎn)／分 連續(xù)可調(diào)。1套

6、真空室照明裝置：1套

7、真空室預(yù)留檢漏口和預(yù)留備用口若干：1套