沈陽宇杰真空設備有限公司
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地址：遼寧省沈陽市沈河區(qū)泉園街道
◆設備用途
用于納米級單層及多層功能膜、 硬質膜、 金屬膜、 半導體膜、 介質膜等新型薄膜材料的制備?？蓮V泛應用于大專院校、 科研院所的薄膜材料科研與小批量制備。
◆設備組成
系統(tǒng)主要由濺射真空室、 磁控濺射靶、 基片水冷加熱臺、 工作氣路、 抽氣系統(tǒng)、 真空測量、 電控系統(tǒng)及安裝機臺等部分組成。磁力送樣機構、 工作氣路、 抽氣系統(tǒng)、 安裝機臺、 真空測量及電控系統(tǒng)等部分組成。
◆技術指標
極限真空度：≤6.6x10-5 Pa (經烘烤除氣后)；
系統(tǒng)真空檢漏漏率：≤5.0x10-7 Pa.l/S；
系統(tǒng)短時間暴露大氣并充干燥氮氣后，再開始抽氣，40分鐘可達到8.0x10-4 Pa；
停泵關機12小時后真空度：≤5 Pa；
磁控濺射設備性能舉例：
1.用直流電源磁控沉積金屬Ｃｕ膜，可以制備出沉積速度４０ｎｍ／ｍｉｎ的膜層；同時小樣品的膜厚均勻性可以達到３％；可以在硬質和柔性沉底生長膜層；常溫也可以沉積Ｃｕ膜，不脫落，但是結合力不好；
2.用射頻電源磁控沉積氧化硅和氧化鋁膜層（等各頭氧化物薄膜），可以制備出沉積速度3—5ｎｍ／ｍｉｎ的膜層；小樣品膜層厚度均勻性可以達到３％；膜層的介電性能較好；
系統(tǒng)主要由濺射真空室、磁控濺射靶、基片加熱公自轉臺、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、安裝機臺、真空測量及電控系統(tǒng)等部分組成。
