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離子束濺射系統(tǒng)

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FJL600型高真空硬碳鍍膜系統(tǒng)

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FJL600型高真空硬碳鍍膜系統(tǒng)

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FJL600型高真空硬碳鍍膜系統(tǒng)

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◆設(shè)備用途

單室立式結(jié)構(gòu)的高真空鍍膜設(shè)備,可用于開(kāi)發(fā)單層膜—類金剛石膜(DLC)等。類金剛石膜具有紅外光譜透過(guò)率高、硬度高、摩擦系數(shù)小、化學(xué)穩(wěn)定性好等優(yōu)點(diǎn),可以作為多種光學(xué)材料的增透率和保護(hù)膜,起到抗磨損、抗腐蝕、抗潮解和抗氧化的作用。適用于批量生產(chǎn)紅外透鏡的軍工及光學(xué)鏡片廠家。

◆設(shè)備組成

主要由鍍膜室、靶電極、射頻電源、電磁線圈及控制電源、泵抽系統(tǒng)、真空測(cè)量系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、水路系統(tǒng)等組成。

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