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沈陽(yáng)宇杰真空設(shè)備有限公司
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地址:遼寧省沈陽(yáng)市沈河區(qū)泉園街道
◆設(shè)備用途
用于納米級(jí)單層及多層功能膜、硬質(zhì)膜、金屬膜、半導(dǎo)體膜、介質(zhì)膜等新型薄膜材料的制備。可廣泛應(yīng)用于大專院校、科研院所的薄膜材料的科研與小批量制備。
◆設(shè)備組成
系統(tǒng)主要由濺射真空室、永磁磁控濺射靶(三個(gè)靶)、單基片加熱臺(tái)、直流電源、射頻電源、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、真空測(cè)量、電控系統(tǒng)及安裝機(jī)臺(tái)等部分組成。
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