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磁控濺射鍍膜儀當(dāng)然有輻射，
1、可見(jiàn)光波段：陰極發(fā)射的電子電離介質(zhì)氣體分子，分子/原子光譜。
這些光密度不大，不至于刺傷鈦合金狗眼. 屬于無(wú)害輻射。
2、不可見(jiàn)光波段：陰極發(fā)射的電子電離介質(zhì)氣體分子，紅外/紫外，分子/原子光譜。 紫外輻射有害
3、X射線(xiàn)：氣體電離后的離子，在陰極加速場(chǎng)作用，轟擊陰極靶材，作用區(qū)也比較復(fù)雜，除了實(shí)現(xiàn)離子刻蝕濺射以外，還有類(lèi)似掃描電鏡類(lèi)似的散射出現(xiàn)，如二次電子，二次離子，及各種射線(xiàn)輻射。
在樣品端，電子會(huì)激發(fā)出更多X射線(xiàn)，盡管磁控裝置讓大部分電子行程增加，到達(dá)樣品其能量衰減近乎零，但會(huì)有一部分陰極電子或二次電子以大能量轟擊樣品，從而會(huì)有X射線(xiàn)產(chǎn)生，如果連接類(lèi)似掃描電鏡附件X射線(xiàn)能譜儀，你會(huì)發(fā)現(xiàn)驚喜！
至于這些X射線(xiàn)是否有害，一般來(lái)說(shuō)，紫外粒子能量足以電離物質(zhì)，磁控濺射儀大工作電壓3000V，理論上大輻射能量3Kev, 這些輻射是相當(dāng)危險(xiǎn)的。
對(duì)于掃描電鏡樣品制備馳奔小型濺射儀來(lái)說(shuō)，大多1000V以下工作電壓， 玻璃罩子可以有效阻攔紫外能量以上的高能射線(xiàn)，而可見(jiàn)光輻射對(duì)人基本無(wú)害
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