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磁控濺射技術(shù)是常用的一種物理氣相沉積技術(shù)。磁控濺射鍍膜機(jī)可用于制備金屬、半導(dǎo)體、絕緣體等多種薄膜材料，具有設(shè)備成熟、易于控制、鍍膜面積大、附著力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)，因此被廣泛使用。磁控濺射鍍膜儀廠家?guī)懔私飧啵?/span>
可見光波段：陰極發(fā)射的電子電離介質(zhì)氣體分子，分子/原子光譜。這些光密度不大，不至于刺傷鈦合金狗眼. 屬于無(wú)害輻射。
不可見光波段：陰極發(fā)射的電子電離介質(zhì)氣體分子，紅外/紫外，分子/原子光譜。
小型磁控濺射鍍膜系統(tǒng)適合于快速濺射鍍膜科研、教學(xué)與小批量打樣，可快速、低成本的制備多種微納米厚度的膜層。
磁控濺射鍍膜是指將涂層材料做為靶陰極，利用氬離子轟擊靶材，產(chǎn)生陰極濺射，把靶材原子濺射到工件上形成沉積層的一種鍍膜技術(shù)。
是將涂層材料做為靶陰極，利用氬離子轟擊靶材，產(chǎn)生陰極濺射，把靶材原子濺射到工件上形成沉積層的一種鍍膜技術(shù)，涂層材料一直保持固態(tài)，不形成熔池。
由于磁控濺射鐵磁性靶材的難點(diǎn)是靶材表面的磁場(chǎng)達(dá)不到正常磁控濺射時(shí)要求的磁場(chǎng)強(qiáng)度，因此解決的思路是增加鐵磁性靶材表面剩磁的強(qiáng)度，以達(dá)到正常濺射工作對(duì)靶材表面磁場(chǎng)大小的要求。
將鐵磁性靶材的厚度減薄是解決磁控濺射鐵磁材料靶材的常見方法。如果鐵磁性靶材足夠薄，則其不能完全屏蔽磁場(chǎng)，一部分磁通將靶材飽和，其余的磁通將從靶材表面通過(guò)，達(dá)到磁控濺射的要求。
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